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首页 >> 产品中心 >>精密镜头 >>扩束镜 >> 193nm紫外扩束镜
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193nm紫外扩束镜

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Beam Expander（扩束器）单元的功能是对激光器输出光束的尺寸、发散角进行调整。其作用是对激光光束进行扩束和准直，为之后的模块提供满足需求的光斑。

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193nm扩束器使用在光刻机系统里

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