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10倍反射式物镜

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全反射式光学结构和折射物镜不同:完全不存在色差;通过对反射镜曲率与镜间距的精密设计,可校正球差、彗差、像散,实现衍射极限级成像。可以参考Beck 两镜型标准反射显微物。

相较于常规折射显微物镜,反射式物镜具备这些优势:

  • 在同等放大倍率下,工作距离更长

  • 可实现大数值孔径,集光能力更强

  • 从紫外到远红外波段都有高透光(通光)能力

  • 可定制镀膜,提升特定波段的光学性能

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适用于常规显微系统、光束传输系统。因其无色差的特点,尤其适合双波长工作场景,例如:借助可见光对准,再配合红外 / 紫外激光开展实验。 其他应用包括:

  • 傅里叶变换红外光谱(FT-IR spectroscopy)

  • 紫外计量与紫外显微检测(UV metrology and microscopy)

  • 半导体晶圆检测(Semiconductor wafer inspection)

  • 显微摄影(Photomicroscopy)

  • 光刻(Photolithography)

  • 薄膜测量(Thin film measurements)

  • 激光光束传输系统(Laser beam delivery systems)

  • 激光打孔与刻蚀(Laser drilling and etching)

  • 产品打标(Product marking)

  • 激光泵浦(Laser pumping)

  • 热成像显微(Thermal imaging microscopy)


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